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瑞士VAT閥VAT 24.5 內(nèi)聯(lián)閥 角閥的關(guān)鍵性能指標(biāo)是可靠性與可變性。24.5 內(nèi)聯(lián)閥系列結(jié)合了可靠性和可變性。該系列旨在針對高污染甚至輕微污染的氣流實(shí)現(xiàn)大尺寸建造。目前已生產(chǎn)出 DN 高達(dá) 800 mm (32“) 的內(nèi)聯(lián)閥。

瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型） 25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質(zhì)和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中，例如次晶圓廠工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設(shè)計 (25.2) 可供選擇，每個版本均采用最大電導(dǎo)率。

瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥 59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥 滿足超高真空要求

瑞士VAT閥21.1 氣體計量閥 21.1 氣體計量閥 真空室的受控、可再現(xiàn)氣流引入

瑞士VAT閥22.0 隔膜閥 22.0 隔膜閥 氣體和液體的多功能解決方案 22.0 隔膜閥基于隔膜原理，具有高導(dǎo)電性，機(jī)械部件與介質(zhì)隔離。它配有耐用的氟橡膠隔膜，可根據(jù)需要輕松更換該隔膜。

瑞士VAT閥快速關(guān)閉/梁式止動閥 快速關(guān)閉/梁式止動閥 一類特殊的保護(hù)閥，在發(fā)生泄漏時，可以防止不受控制的壓力上升或污染的氣體流入工藝區(qū)。擋束閥允許快速中斷加速器系統(tǒng)中的粒子或能量輻射。